1、大族激光，该公司在2020年6月透露，其研发的光刻机项目具有3至5微米的分辨率，主要针对分立器件和LED市场，并有望在今年实现小批量销售，2、张江高科，张江高科通过其子公司上海张江浩成创业投资有限公司，在2016年对上海微电子装备有限公司进行了投资，持股比例达到10.779%，3、晶方科技，晶方科技披露，荷兰光刻机制造...。